真空泵都有哪些類型？

按性能特點和用途分類

（1）低真空泵

泵的極限壓力高于102Pa的真空泵屬于低真空泵。常見的低真空泵有往復式真空泵、旋轉式真空泵、液環式真空泵、噴射式真空泵以及吸附式真空泵。

（2）中真空泵

極限壓力在102~-10-1Pa的真空泵屬于中真空泵。常見的有羅茨真空泵、多級噴射式真空泵、多級旋轉機械真空泵以及高速旋轉式機械真空泵等。

（3）高真空泵

極限壓力在10-1~10-5Pa的真空泵屬于高真空泵。常見的高真空泵有各種擴散泵及分子泵等。

（4）*真空泵

極限壓力低于10-5Pa的真空泵屬于*真空泵。*真空泵主要有各種離子泵、低溫泵等。

02

按工作原理和結構特點分類

（1）機械式容積真空泵

靠機械運動使泵腔工作容積周期變化來實現抽氣作用的是機核式容積真空泵。屬于這類泵的有往復式真空泵、旋轉式機械泵(包括旋片式、螺桿式、羅茨式、液環式等)。這類泵中除機械增壓泵外，一般均可單獨使用。

（2）射流式真空泵

沒有機械運動部件,主要靠通過噴嘴的高速射流來抽真空的是射流式真空泵。屬于這類泵的有水蒸氣噴射泵、空氣噴射泵、水噴射泵以及各種擴散泵等。這類泵結構簡單,工作可靠,壽命長,易于維修,應用比較普遍。